angle beam inspection methodとは 意味・読み方・使い方

In this method, a light beam focused on the system which achieves surface inspection with the highest sensitivity and highest throughput is oriented to the surface under test at total reflection angle.例文帳に追加

表面の検査を高い感度で高い処理能力で行うシステムに焦点合わせさせられた光ビームを検査されるべき表面に全反射の角度で向ける。 - 特許庁

The inspection method includes obtaining information of true defects in the display substrate by means of a first image signal by a first light beam traveling from the display substrate to a photodetector and a second image signal by a second light beam for which the first light beam is passed through a polarizing filter having a polarizing angle different at 90° against a polarizing angle by the display substrate.例文帳に追加

検査方法は、表示用基板から光検出手段に向かう第１の光による第１の画像信号と、第１の光を表示用基板による偏光角度に対し９０°異なる偏光角度を有する偏光フィルタに通した第２の光による第２の画像信号とを用いて、表示用基板の真の欠陥情報を得ることを含む。 - 特許庁