atomic number 61とは 意味・読み方・使い方

Before a semiconductor substrate is fed to a water rinsing process for water rinsing after a thin film layer is removed, the concentration of the amine whose carbon atomic number is 8 or more contained in an ultrapure water is detected by an amine detection part 61.例文帳に追加

薄膜層除去後の半導体基板を水洗リンスする水洗リンス工程への供前に、超純水に含まれる炭素原子数８以上のアミンの濃度がアミン検出部６１で検出される。 - 特許庁