catadiopticとは 意味・読み方・使い方

CATADIOPTIC IMAGING OPTICAL SYSTEM例文帳に追加

反射屈折型結像光学系 - 特許庁

CATADIOPTIC OBJECTIVE LENS HAVING TWO INTERMEDIATE IMAGES例文帳に追加

２つの中間像を持つ反射屈折対物レンズ - 特許庁

To detect the position of an alignment mark formed on a wafer with high accuracy at the time of performing exposure by using a catadioptic projection optical system.例文帳に追加

反射屈折型の投影光学系を使用して露光を行う場合に、ウエハ上に形成されたアライメントマークの位置を高精度に検出する。 - 特許庁

To provide a high-resolution objective lens having a reduced lens diameter and high performance relating to the catadioptic objective lens having two intermediate images.例文帳に追加

２つの中間像を持つ反射屈折対物レンズに関し、減少したレンズ直径と高い性能とを持つ高解像対物レンズを可能にする。 - 特許庁

To provide a catadioptic projection aligner, wherein an image is hard to be rotated, even if an optical path deflection member generates tilting and thereby a resolution of quarter-micron unit can be obtained stably.例文帳に追加

光路偏向部材がチルトを生じても、像の回転が生じ難く、したがってクォーターミクロン単位の解像度を安定して得ることができる反射屈折投影露光装置を提供する。 - 特許庁