chuck topとは 意味・読み方・使い方

This wafer holder 1 for a wafer prober: includes a chuck top 2 having a chuck top conductor layer 3 on a surface thereof, and a support 4 for supporting the chuck top 2; and has a cavity in a portion between the chuck top 2 and the support 4.例文帳に追加

ウェハプローバ用ウェハ保持体１は、表面にチャックトップ導体層３を有するチャックトップ２と、該チャックトップ２を支持する支持体４とからなり、チャックトップ２と支持体４との間の一部に空隙を有することを特徴とする。 - 特許庁

CHUCK TOP FOR WAFER PROBER AND WAFER PROBER MOUNTED WITH THE SAME例文帳に追加

ウェハプローバ用チャックトップおよびそれを搭載したウェハプローバ - 特許庁

The chuck top 2 preferably includes a heating body 6.例文帳に追加

前記チャックトップ２は加熱体６を備えることが好ましい。 - 特許庁

The wafer holder comprises a chuck top for placing a wafer; and a support for supporting the chuck top; and a regulating member for covering the interface between the chuck top and the support.例文帳に追加

本発明のウェハ保持体は、ウェハを載置するチャックトップと、該チャックトップを支持する支持体とからなり、前記チャックトップと支持体との界面を覆う規制部材を具備することを特徴とする。 - 特許庁

The wafer holder consists of a chuck top having a chuck top conductor layer on its surface, and a supporter for supporting the chuck top, and has a support member, in a gap between the chuck top and the supporter of which the shape comprises only of the shape of a pipe.例文帳に追加

本発明のウェハ保持体は、表面にチャックトップ導体層を有するチャックトップと、該チャックトップを支持する支持体とからなり、前記チャックトップと支持体との間の空隙部に、パイプ形状のみからなる支持部材を有することを特徴とする。 - 特許庁

The wafer holder for the wafer prober comprises a chuck top having a chuck top conductor layer on the surface, and a support for supporting the chuck top wherein the chuck top and the support are secured by means of screws and a difference in thermal expansion coefficiency is 5.0×10^-6/K or less between the screw and the chuck top.例文帳に追加

本発明のウェハプローバ用ウェハ保持体は、表面にチャックトップ導体層を有するチャックトップと、該チャックトップを支持する支持体とからなり、チャックトップと支持体とは、ネジで固定されており、該ネジと前記チャックトップとの熱膨張係数の差が、５．０×１０^−６／Ｋ以下であることを特徴とする。 - 特許庁

A pogo pin 60 is secured at the peripheral part of the chuck top 49.例文帳に追加

チャックトップ４９の周辺部にはポゴピン６０を固定する。 - 特許庁

The wafer holder 1 for the wafer prober comprises a chuck top 2 having a chuck top conductor layer 3 on the surface, and a support 4 for supporting the chuck top wherein an air gap exists between the chuck top and the support and a reflector 10 is provided in the air gap.例文帳に追加

本発明のウェハプローバ用ウェハ保持体は、表面にチャックトップ導体層を有するチャックトップと、該チャックトップを支持する支持体とからなり、チャックトップと支持体との間の少なくとも一部に空隙を有し、該空隙に反射板を備えることを特徴とする。 - 特許庁