probersとは 意味・読み方・使い方

The ceramic substrate for use in wafer probers has a chuck top conductor layer formed on its surface and the ceramic substrate characteristically contains carbon.例文帳に追加

その表面にチャックトップ導体層が形成されてなるウエハプローバに使用されるセラミック基板において、前記セラミック基板は、炭素を含有していることを特徴とするセラミック基板。 - 特許庁

To provide a wafer holding body for wafer probers capable of accurate measurement by reducing deformation (deflection) in a chuck top, to provide a heater unit for mounting the wafer holding body, and to provide the wafer prober having the heater unit.例文帳に追加

チャックトップの変形（たわみ）を減少させることにより、正確な測定を実現できるウェハプローバ用ウェハ保持体およびそれを搭載したヒータユニット、及び該ヒータユニットを備えたウェハプローバを提供する。 - 特許庁

To provide a chuck top for wafer probers capable of surely recognizing a wafer placed on a wafer mounting face or a chuck top conductive layer by a camera such as a CCD, and executing the inspection of the wafer without any problems.例文帳に追加

ウエハ載置面ないしチャックトップ導体層に載置したウエハをＣＣＤなどのカメラで確実に認識することができ、ウエハの検査を支障なく実施することができるウエハプローバ用チャックトップを提供する。 - 特許庁

In addition, when the prober exchanger 10 is used as the rack 2 for keeping the probers 6, the space required for installing the rack 2 can be saved.例文帳に追加

検査部とプローバ交換装置とを併設することにより液晶基板の検査時間を短縮し、また、プローバ交換装置をプローバを保管するラックとして用いることにより、ラックを設置するためのスペースを省く。 - 特許庁

The wafer holder for wafer probers comprises a chuck top having a chuck top conducting layer on its surface and a support member for supporting the chuck top, and has a cavity in a portion between the chuck top and the support member.例文帳に追加

本発明のウェハプローバ用ウェハ保持体は、表面にチャックトップ導体層を有するチャックトップと、該チャックトップを支持する支持体とからなり、チャックトップと支持体との間の一部に空隙を有することを特徴とする。 - 特許庁

To obtain an aluminum nitride substrate sintered compact capable of providing a sintered compact having a high volume resistivity and a low lightness at high temperatures, enabling accurate temperature measurement with a thermoviewer and useful as a substrate for hot plates, electrostatic chucks, wafer probers, susceptors, or the like.例文帳に追加

高温での体積抵抗率が高く、明度の低い焼結体が得られ、サーモビュアによる正確な温度測定が可能であり、ホットプレート、静電チャック、ウエハプローバ、サセプタなどの基板として有用な窒化アルミニウム基板焼結体を提供すること。 - 特許庁

To provide a highly stiff wafer holder for wafer probers capable of improving position precision, soaking properties, and further rapid heating/cooling of a chip by enhancing a heat-insulating effect, and to provide a wafer prober device for mounting the wafer holder.例文帳に追加

高剛性であり、断熱効果を高めることにより、位置精度を向上や、均熱性の向上、更にはチップの急速な昇温と冷却ができるウェハプローバ用ウェハ保持体およびそれを搭載したウェハプローバ装置を提供する。 - 特許庁

According to such a characteristic, bending of the probe card is prevented and thus contact between the probers of the probe card and the electrode terminals of semiconductor devices can reliably be realized, whereby the reliability of the electrical property inspection of the semiconductor devices is improved.例文帳に追加

このような特徴によると、プローブカードの曲がりを防止してプローブカードのプロバーと半導体デバイスの電極端子との間に接触が安定的になされることができるようにすることによって、半導体デバイスの電気的特性検査の信頼性を向上させる。 - 特許庁