clean decisionとは 意味・読み方・使い方

When a decision is made that the concentration of chemical contaminants measured by a contaminant concentration sensor 17 is not higher than a specified level, a controller 21 supplies clean air taken in from a clean room 10 to both a wafer processing chamber 11 and a clean air storage tank 19.例文帳に追加

制御装置２１は、汚染物質濃度センサ１７が測定した化学汚染物質の濃度が所定値以下であると判定すると、クリーンルーム１０から取り込んだ清浄な空気をウェハ処理室１１及び清浄空気貯留タンク１９の両方に供給する。 - 特許庁

When a decision is made that the concentration of chemical contaminants measured by the contaminant concentration sensor 17 exceeds the specified level, the controller 21 supplies clean air stored in the clean air storage tank 19 to the wafer processing chamber 11.例文帳に追加

また、制御装置２１は、汚染物質濃度センサ１７が測定した化学汚染物質の濃度が所定値を超えていると判定すると、清浄空気貯留タンク１９に貯留されている清浄な空気をウェハ処理室１１に供給する。 - 特許庁

To obtain a water heater with bathtub water heater function which prevents the malfunction of the washer function due to an erroneous decision on bathtub water draining when a bathtub water level lowers, keeps a circulation path of bathtub water clean all the time, and eliminates the maintenance by a user.例文帳に追加

浴槽水位低下時の浴槽水排水誤判定による洗浄機能の誤動作を防止し、浴槽水の循環経路を常に清浄に保ち、使用者によるメンテナンスを不要とする浴槽給湯機能付き給湯機を得ること。 - 特許庁