clean cut systemとは 意味・読み方・使い方

A wafer cleaning system comprising a robot for transferring a wafer between a plurality of tanks for cleaning the wafer while clamping at a specified position and a specified inner or outer position is further provided with a tank 9 for cleaning the finger part 41 of the wafer transfer robot for mounting the wafer with cleaning liquid wherein the cleaning liquid is cut by blowing clean air toward the finger part 41 after cleaning.例文帳に追加

ウエーハを槽内の所定位置に挟持して洗浄する複数のウエーハ洗浄槽と内外の所定位置間でウエーハを移載するウエーハ移載ロボットを備えたウエーハ洗浄システムにおいて、ウエーハ移載ロボットが有するウエーハ載置用のフィンガ部４１を洗浄液で洗浄するフィンガ洗浄槽９を備え洗浄後のフィンガ部４１に向けてクリーンエアを吹き付けて洗浄液の水切りを行なう構成。 - 特許庁