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confinement phaseとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 閉込め相
「confinement phase」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
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Second, plasma is confined by the impedance confinement scheme of reducing a voltage supplied to the top electrode by a voltage ratio during plasma processing and supplying the remaining voltage supplied to the top electrode at a negative phase at the substrate support or the substrate.例文帳に追加
第２に，頂部電極に供給される電圧をプラズマ処理中に電圧比で低減し、かつ頂部電極に供給された残りの電圧を逆相で基板支持体，又は基板に供給するインピーダンス閉じ込めスキームに依ってプラズマを閉じ込める。 - 特許庁
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