conformalityとは 意味・読み方・使い方

Then, an adhesion layer is deposited under a condition having high conformality.例文帳に追加

この後、接着層を高いコンフォマリティーを有する条件で成膜する。 - 特許庁

To form a sealing layer before a high conformality ALD layer is formed on a porous layer in an integrated circuit.例文帳に追加

集積回路において、多孔層上の高いコンホーマリティALD層前にシーリング層を形成する。 - 特許庁

To provide a vapor deposition method wherein an ALD gives superior conformality, film formation speed, and uniformity in comparison with a CVD.例文帳に追加

ＡＬＤがＣＶＤに比べて優れたコンフォーミティ（ｃｏｆｏｒｍａｌｉｔｙ）、成膜速度及び均一性を備えた気相堆積方法を提供する。 - 特許庁

The nitride film obtained by the method has an etching-resistant property and high conformality, and an excellent barrier layer can be provided without changing the structure and processes of a conventional semiconductor device.例文帳に追加

この方法によって得られた窒化膜は、耐エッチング性を有し、高いコンフォーマリティを有し、従来の半導体デバイスの構造およびプロセスを変更することなく、優れたバリア層を提供することができる。 - 特許庁