dichlorosilane processとは 意味・読み方・使い方

The manufacturing method includes a polymerization process for polymerizing methyl trichlorosilane, diaklyl dichlorosilane and bis-trialkyl silyl carbodiimide in the presence of an organic base to obtain polysilyl carbodiimide and a firing process for firing the polysilyl carbodiimide.例文帳に追加

本製造方法は、メチルトリクロロシラン、ジアルキルジクロロシラン及びビストリアルキルシリルカルボジイミドを、有機塩基の存在下に重合してポリシリルカルボジイミドとする重合工程と、このポリシリルカルボジイミドを焼成する焼成工程と、を備える。 - 特許庁

To provide a device for treating a gas by using a filler, for instance, a gas treatment device for detoxifying a waste gas containing injurious substances such as various kinds of special material gases of silane, phosphine, hydrogen chloride, dichlorosilane, ammonia, or the like, used in a semiconductor manufacture process and a liquid crystal display element manufacture process, or the like, by a detoxifying agent.例文帳に追加

充填剤を用いてガスを処理する装置、例えば、半導体製造工程や液晶表示素子製造工程等で用いられるシラン、ホスフィン、塩化水素、ジクロルシラン、アンモニア等の各種特殊材料ガスのような有害物質を含む排ガスを、除害剤により除害処理するためのガス処理装置を提供する。 - 特許庁