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該当件数 : 3件
METHOD FOR RENDERING DRY DISTILLATION FURNACE DISCHARGE GAS DRY DISTILLATION FUEL AND ITS EQUIPMENT例文帳に追加
乾留窯排出気体の乾留用燃料化方法及びその装置 - 特許庁
To obtain a method and an apparatus for removing HF by a dry process from an HF-containing gas generated continuously and in high volume, and for rendering it harmless, in rendering perfluorocarbon (PFC) contained in an exhaust gas or the like from a semiconductor manufacturing facility harmless.例文帳に追加
半導体製造工場の排ガスなどに含まれる過弗化物（ＰＦＣ）を無害化処理するときに連続的かつ大量に発生するＨＦ含有ガスから乾式法でＨＦを除去して無害化するための方法と装置を得る。 - 特許庁
The harmful gas exhaust apparatus 1 is an apparatus for depolluting an etching generating gas exhausted from a dry etcher 2 and includes the cylinder for rendering harmless 4 in which an absorber 3 is filled, a dry pump 5, and a main duct 6.例文帳に追加
本発明の有害ガス排気装置１はドライエッチャ２から排出されるエッチング生成ガスを無害化処理する装置であり、吸着剤３が充填された除害筒４と、ドライポンプ５と、メイン配管６を備えている。 - 特許庁
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