electri cal potentialとは 意味・読み方・使い方

To prevent a problem that, while thermal electrons within the range irradiated with ion beam are attracted by Ar+ ions to hit a screen (shutter), thermal electrons produced at the part of uncovered filament terminal portion reach a substrate with creeping phenomenon like reflection to lower the electri cal potential of the substrate.例文帳に追加

イオンビームの照射範囲内の熱電子はＡｒ＋イオンに引き寄せられ、遮蔽板（シャッタ）に当たることになるが、むき出しとなっているフィラメント端子部分で発生した熱電子は、反射等の回り込みなどの現象により基板まで到達し、基板の持つ電位が低下する。 - 特許庁