electron backscatteringとは 意味・読み方・使い方

CONTRAST IMPROVING METHOD OF ELECTRON BACKSCATTERING DIFFRACTION IMAGE, AND DEVICE例文帳に追加

電子後方散乱回折像のコントラスト改善方法、及び装置 - 特許庁

Thereafter, the electron backscattering diffraction image in the deteriorated domain is imaged (step S13).例文帳に追加

その後、劣化領域における電子後方散乱回折像を撮像する（ステップＳ１３）。 - 特許庁

Then, the electron backscattering diffraction image in the observation domain of the sample is imaged (step S14).例文帳に追加

さらに、試料の観察領域における電子後方散乱回折像を撮像する（ステップＳ１４）。 - 特許庁

Scanning electron rays (incident rays) are intermittently applied to a sample 6, backscattering electrons generated when the electrons are applied to the sample 6 are detected by a backscattering electron detector 22, and the time difference between the electrons applied to the sample 6 and the backscattering electrons detected by the backscattering electron detector 22 is compared and measured, thus measuring the shape of a sample surface.例文帳に追加

試料６に対して走査する電子線（入射線）を断続的に照射し、該電子線が試料６に照射されたときに発生する後方散乱電子を後方散乱電子検出器２２で検出し、時間差検出部５３により、試料６に照射される電子線と後方散乱電子検出器２２で検出した後方散乱電子との時間差を比較計測し、試料表面の形状を測定する。 - 特許庁

In a direct electron detector, backscattering of electrons into the detector volume from below a sensor is prevented.例文帳に追加

直接型電子検出器において、センサ下方から検出器体積へ入り込む電子の後方散乱が防止される。 - 特許庁

To provide a method capable of improving a contrast of an electron backscattering diffraction image, even in the case of a monocrystal sample or a polycrystal sample having high orientation.例文帳に追加

単結晶試料又は配向性が高い多結晶試料であっても、電子後方散乱回折像のコントラストを改善することができる方法を提供する。 - 特許庁

A pattern-forming region (die) 61 on a wafer 23 and a peripheral part 62 thereof are divided into pixels 23b of a dimension, sufficiently smaller than a spread dimension 63 of a backscattering electrons of an electron beam.例文帳に追加

ウェハ２３上のパターン形成領域（ダイ）６１とその周囲部分６２を、電子線の後方散乱電子の拡がり寸法６３より十分小さい寸法のピクセル２３ｂに分ける。 - 特許庁