exposure rackとは 意味・読み方・使い方

For instance, the suction port is disposed more on an exposure port side than a position to be engaged with a pinion gear near a rack gear.例文帳に追加

例えば、吸込口をラックギアの近傍であってピニオンギアと噛合う位置よりも曝射口側に配されるようにする。 - 特許庁

Before exposure is started, a reticle supporting rack is filled with purge gas made of inert gas containing prescribed active gas, and fixed light beams are applied, thus recovering transmittance in the reticle deteriorated by the contaminations, and then obtaining real exposure time for executing exposure.例文帳に追加

露光開始前に、レティクル支持台を所定の活性ガスを含む不活性ガスからなるパージガスで満たし、一定の光ビーム照射を行うことにより、汚染物質により低下したレティクルの透過率を回復させたのち、実露光時間をもとめて露光を実施する。 - 特許庁

To provide a mask stocker automatically performing all processes from extraction of a cassette from a management rack for a cassette for storing a mask to supply of a mask to an exposure device, a mask supply system, and a mask supply method.例文帳に追加

マスクを収容するカセットの管理棚からのカセット取り出しから、マスクを露光装置に供給するまでの全工程を自動的に行うことができるマスクストッカー、マスク供給システム、及びマスク供給方法を提供する。 - 特許庁