exposure padとは 意味・読み方・使い方

The concave portion 28 may be formed while being recessed at the exposure of the pad 12 by forming a foundation layer 24, while overlapping to one portion of a pad 12 and by growing a metal layer 26 while overlapping to the exposure of the pad 12 and the foundation layer 24.例文帳に追加

パッド１２の一部に重なるように下地層２４を形成し、パッド１２の露出部及び下地層２４に重なるように金属層２６を成長させることで、凹部２８をパッド１２の露出部の位置で窪むように形成してもよい。 - 特許庁

To inspect the size of a foreign substance between a reticle and a reticle suction pad surface of an exposure device with high precision as to a foreign substance inspecting method and an exposure system.例文帳に追加

異物検査方法及び露光システムに関し、レチクルと露光装置のレチクル吸着パッド面の間の異物のサイズを高精度に検査する。 - 特許庁

To enable precise alignment by a simple method in a resist exposure process for forming a bonding pad.例文帳に追加

ボンディングパット形成のためのレジスト露光プロセスにおいて、簡易な方法により高精度のアライメントを可能とする。 - 特許庁

To provide an air pad capable of preventing the inclination of an air slide or the generation of slight vibration, a stage using the air pad and an exposure device having the stage.例文帳に追加

エアスライドの傾きや駆動時の微振動の発生を防止することができるエアパッド、このエアパッドを用いたステージ及びこのステージを備える露光装置を提供する。 - 特許庁

The pad 22 is positioned on the side opposed to a bare silicon pad when the heat dissipation body 16 is attached to the circuit board 12 to totally cover an exposure surface 25 of a chip 14.例文帳に追加

パッド２２は、熱分散体１６が回路板１２に取り付けられ、チップ１４の露出面２５を完全にカバーしたときに、裸のシリコンパッドの向かい側に位置決めされる。 - 特許庁

The pattern exposure plane of the electrode pad PAD is configured, while having a rugged form by being reflected with a rugged pattern 101 formed on a layer insulating film 10 of the lower layer.例文帳に追加

電極パッドＰＡＤのパターン露出面が、下層の層間絶縁膜１０に形成された凹凸パターン１０１を反映して凹凸形状を有して構成されている。 - 特許庁

To provide a light-emitting element array chip having a wire bonding pad for achieving a high brilliance printer exposure light source.例文帳に追加

高精彩のプリンタ露光光源を実現するための、ワイヤーボンディングパッドを有する発光素子アレイチップを提供する。 - 特許庁

To provide an exposure device that makes it easy to determine a position where a substrate is placed without providing a pad member etc.例文帳に追加

当て付け部材等を設けることなしに、基板を置く位置を容易に定めることが可能な露光装置を提供する。 - 特許庁