facet formationとは 意味・読み方・使い方

To provide a semiconductor device and its manufacturing method that can minimize facet formation.例文帳に追加

ファセットの形成を最少化することができる半導体素子及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To suppress facet formation in a process of epitaxial growth on the inner wall surface in a trench formed in a substrate.例文帳に追加

基板に形成したトレンチ溝の内壁面にエピタキシャル成長する際にファセット面の形成を抑制することができるようにする。 - 特許庁

An enlargement cutting-off part is formed for preventing formation of a facet extended over the slot and film at both ends of the slot.例文帳に追加

そのスロットの両端に、スロットに跨るファセットおよび膜が形成されることを防止するための拡大切り取り部が形成される。 - 特許庁

In regions located on both sides of the gate electrode out of the element formation region 170, sidewalls inclined with respect to a principal surface of the semiconductor substrate 101 for exposing a facet surface of a semiconductor single crystal are included, recesses 130 having corners rounded are formed, and the source/drain regions 150 are formed of a silicon mixed crystal embedded in the recess 130.例文帳に追加

素子形成領域１７０のうちゲート電極の両側方に位置する領域には、半導体基板１０１の主面に対して傾いた半導体単結晶のファセット面を露出させる側壁を有し、コーナー部が丸められたリセス１３０が形成されており、ソース／ドレイン領域１５０は、リセス１３０に埋め込まれたシリコン混晶で構成されている。 - 特許庁