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A second optical element 20 at the position of the secondary light sources is impacted by EUV radiation over an impactable area via the first optical element 7, and an impactable surface is divided into a plurality of second facet elements 21 to 24.例文帳に追加
２次光源の位置にある第２光学要素２０は、ＥＵＶ放射線により第１光学要素７を通じて衝撃可能領域にわたって衝撃を受け、衝撃可能表面は、複数の第２ファセット要素２１から２４に分割されている。 - 特許庁
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