infrared gas analyserとは 意味・読み方・使い方

To provide a manufacturing apparatus for semiconductor device including an infrared spectroscopic analyser exhibiting small analysis errors for measured values of gas concentration of an exhaust gas exhausted from a gas processing chamber, and a gas concentration analysis method using the apparatus.例文帳に追加

ガス処理チャンバーから排出される排出ガスのガス濃度の測定値に関して、分析誤差が少なくなる赤外分光分析装置含む半導体装置の製造装置及びそれを用いたガス濃度分析方法を提供する。 - 特許庁

This manufacturing is provided with the gas processing chamber 20 for manufacturing by processing a target object with a gas and exhausting the exhaust gas used for the manufacturing process, and the infrared spectroscopic analyser 10 for analyzing the exhaust gas exhausted from the gas processing chamber 20.例文帳に追加

本発明の半導体装置の製造装置は、対象物をガスで処理することによって製造処理を行い、製造処理に用いた排出ガスを排出するガス処理チャンバー２０と、ガス処理チャンバー２０から排出される排出ガスを分析する赤外分光分析装置１０と、を備える。 - 特許庁

In an infrared gas analyser wherein a pressure pump 17 is provided to the line 10 supplying sample gas S to a gas analyzing part 12, one critical flow Venturi 18 is provided on the upstream side of the sample gas supplying line 10 and other critical flow Venturi 19 is provided to the gas discharge line 11 of the gas analyzing part 12.例文帳に追加

ガス分析部１２に試料ガスＳを供給するライン１０に加圧ポンプ１７を設けた赤外線ガス分析装置において、前記試料ガス供給ライン１０の加圧ポンプ１７より上流側に一つのクリチカルフローベンチュリ１８を設けるとともに、ガス分析部１２のガス排出ライン１１に他のクリチカルフローベンチュリ１９を設けた。 - 特許庁