laser interferometryとは 意味・読み方・使い方

LASER INTERFEROMETRY LENGTH MEASURING SYSTEM例文帳に追加

レーザー干渉測長システム - 特許庁

LASER INTERFEROMETER, AND LASER INTERFEROMETRY例文帳に追加

レーザ干渉測長装置及びレーザ干渉測長方法 - 特許庁

LENGTH-MEASURING SYSTEM BY LASER INTERFEROMETRY AND EXPOSING DEVICE例文帳に追加

レーザー干渉測長システム及び露光装置 - 特許庁

To provide a laser interferometer and laser interferometry for suppressing the manufacturing cost and eliminating the influence of modulation.例文帳に追加

製造コストを抑制し且つ変調による影響を解消したレーザ干渉測長装置及びレーザ干渉測長方法を提供する。 - 特許庁

An areal (XY) determination of working layer thickness is made by ellipsometry, laser interferometry or x-ray diffraction or other known means.例文帳に追加

偏光解析法、レーザ干渉法、又はｘ線回折法又はその他の既知の手段により加工層７０の領域的（ＸＹ）厚さの決定が行われる。 - 特許庁