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意味・対訳 線幅効果
「linewidth effect」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
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To provide a multi-column electron beam exposure device and an electron beam exposure method capable of correcting variation in the linewidth between column cells even when proximity effect correction is performed.例文帳に追加
近接効果補正を行う場合であっても、コラムセル間の線幅のばらつきを補正できるマルチコラム型の電子ビーム露光装置及び電子ビーム露光方法を提供する。 - 特許庁
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