linewidth controlとは 意味・読み方・使い方

IMAGE-FORMING APPARATUS, LINEWIDTH CONTROL METHOD, AND LINEWIDTH CONTROL PROGRAM例文帳に追加

画像形成装置、線幅制御方法、および線幅制御プログラム - 特許庁

IMAGE FORMING APPARATUS, LINE WIDTH CONTROL METHOD, AND LINEWIDTH CONTROL PROGRAM例文帳に追加

画像形成装置、線幅制御方法、および線幅制御プログラム - 特許庁

To control linewidth variation and bias resulting from MEF changes and reticle linewidth variations in a printed substrate by correcting exposure dose and partial coherence at different spatial locations.例文帳に追加

基板におけるＭＥＦ変化およびレチクルライン幅変動から生じるライン幅変動およびバイアスを種々異なる空間的位置での露光量と部分可干渉性の補正によってコントロールする。 - 特許庁

To provide a semiconductor device, capable of utilizing maximum use of the areas of four corners in a semiconductor chip region and moreover, capable of conducting easy and sure linewidth control, as much as possible, and to provide its manufacturing method, as well as, its design method.例文帳に追加

半導体チップ領域の四隅部分の面積を最大限に活用し、しかも可及的に容易且つ確実な線幅管理を行うことができる半導体装置及びその製造方法、並びにその設計方法を提供する。 - 特許庁

In addition, a plurality of terahertz comb spectra obtained by frequency-shifting a comb mode in increments of linewidth by laser control so as to interpolate gaps of a terahertz comb are synthesized, thereby obtaining an ultrafine terahertz spectrum waveform in which comb gap portions have been interpolated.例文帳に追加

さらに、レーザー制御によって、テラヘルツ・コムの間隙を補間するようにコム・モードを線幅刻みで周波数シフトさせ、その結果得られた複数のテラヘルツ・コム・スペクトルを合成して、コム間隙部が補完された超微細テラヘルツ・スペクトル波形を得る。 - 特許庁

In the control method of the laser oscillation, by controlling the intensity of excitation light to irradiate the liquid crystal cell with and the strength of an external electric field to be impressed to the liquid crystal cell, the array condition of the liquid crystal molecules is changed and the presence / absence of the laser oscillation oscillated from the liquid crystal cell, the intensity of the laser beam and the linewidth of the laser beam are controlled.例文帳に追加

液晶セルに照射する励起光の強度と、前記液晶セルに印加する外部電場の強度を制御することにより、液晶分子の配列状態を変化させ、液晶セルから発振されるレーザー発振の有無、レーザー光の強度、及びレーザー光の線幅を制御する、レーザー発振の制御方法 - 特許庁

To provide a positive radiation-sensitive resin composition which contains a compound good also in compatibility with other components, can optimally control radiation transmittance particularly as a chemically amplified positive resist effectively sensitive to far-ultraviolet radiation, in particular, can effectively suppress a linewidth change of a resist pattern due to a thickness variation of a resist film on a highly reflecting substrate, and excels also in depth of focus latitude.例文帳に追加

他の成分との相溶性も良好な化合物を含有し、特に遠紫外線に有効に感応する化学増幅型ポジ型レジストとして、放射線透過率を最適にコントロールすることができると共に、特に、高反射基板上でのレジスト被膜の膜厚変動によるレジストパターンの線幅変化を有効に抑えることが可能で、かつ焦点深度余裕にも優れたポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁