lock chamberとは 意味・読み方・使い方

In another embodiment, the chamber is one of a chemical vapor deposition chamber, a load lock chamber, a metrology chamber, a thermal processing chamber, or a physical vapor deposition chamber, a load lock chamber, a substrate transfer chamber or a vacuum chamber.例文帳に追加

他の実施形態において、チャンバは、化学気相成長チャンバ、ロードロックチャンバ、計測チャンバ、熱処理チャンバ、又は物理気相成長チャンバ、ロードロックチャンバ、基板搬送チャンバ、又は真空チャンバの１つである。 - 特許庁

The load lock chamber 2, the processing chamber 1, and the unload lock chamber can be evacuated, and the carrier chamber can have an airtight structure.例文帳に追加

ロードロック室２、処理室１、アンロードロック室は真空排気可能であり搬送室を密閉構造とすることが可能である。 - 特許庁

An etching device 21 comprises a load lock chamber 23, an etching chamber 24, an ashing chamber 25, and an unload lock chamber 26.例文帳に追加

エッチング装置２１は、ロードロック室２３と、エッチング室２４と、アッシング室２５と、アンロードロック室２６とを有する。 - 特許庁

To provide a small vacuum chamber not requiring a load lock chamber.例文帳に追加

ロードロックチャンバが必要無い小型真空チャンバを提供する。 - 特許庁

The load-lock comprises a load-lock chamber, a means for exhausting the load-lock chamber, and a door means for closing the load-lock chamber during exhaust operation and opening the load-lock chamber in order to feed the article into the load-lock chamber or taking out the article therefrom.例文帳に追加

ロード・ロックは、ロード・ロック・チャンバと、このロード・ロック・チャンバを排気する排気手段と、排気時にロード・ロック・チャンバを閉鎖し、かつロード・ロック・チャンバの中へ物体を送り、またはそれから物体を取り出すためにロード・ロック・チャンバを開放するドア手段とを備える。 - 特許庁

DAMPER CHAMBER STRUCTURE OF ANTI-LOCK BRAKE DEVICE例文帳に追加

アンチロックブレーキ装置のダンパ室構造 - 特許庁

LOAD LOCK CHAMBER FOR LARGE AREA SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加

大面積基板処理システムのためのロードロックチャンバ - 特許庁

LOAD-LOCK EQUIPMENT FOR LOADING VACUUM CHAMBER WITH SUBSTRATE例文帳に追加

真空室に基板を装填するためのロードロック装置 - 特許庁