The data on the overlay error obtained as the measuring result are transferred to a software program, wherein the contribution of the lens is obtained with respect to the error-in-the-field map of the photolithographic projection scanning system.例文帳に追加

次に、結果として得たオーバーレイ誤差データはソフトウェアプログラムに転送され、フォトリソグラフィ投影走査システムのフィールド内誤差マップに対するレンズ寄与を生成する。 - 特許庁

In a 3D geography display area 31 of a display device, geography data for a sea area being an object of an aviation survey is displayed as a 3D topographic map 34, preferably displayed three-dimensionally with a naked eye three-dimensional viewing system of orthogonal projection.例文帳に追加

表示装置の３Ｄ地形表示領域３１では、航空調査の対象となる海域の地形データを、３Ｄ地形図３４として、好ましくは正射影の裸眼立体視方式で三次元表示する。 - 特許庁

Secondary electron emitted from a test piece by irradiation of primary electron beam in a rectangular field of view on the test piece 9 is magnified by a map projection optical system and guided to a plane detector or a linear detector by a secondary electron optical system.例文帳に追加

試料９上に長方形の視野で１次電子ビームが照射されることにより試料から放出された２次電子は、２次電子光学系により、写像投影光学系で拡大しかつ面検出器又は線検出器に導かれる。 - 特許庁