primary electronとは 意味・読み方・使い方

To correct a deflection chromatic aberration of a primary electron beam by an E×B separator in an electron beam device.例文帳に追加

電子線装置において、Ｅ×Ｂ分離器による一次電子線の偏向色収差を補正する。 - 特許庁

This electron beam device 1 is equipped with a lens group composed by arranging, for every electron gun, a lens for converging and emitting a primary electron beam.例文帳に追加

この電子線装置１は一次電子線を集束して照射させるレンズを各電子銃毎に配列したレンズ群を備えている。 - 特許庁

To restrain an aberration increase caused by a spatial charge effect of a secondary electron beam in an overlapped area of a primary electron beam and the secondary electron beam.例文帳に追加

一次電子ビームと二次電子ビームとの重複領域で二次電子ビームの空間電荷効果による収差増大を抑制する。 - 特許庁

An electron gun 14 generating an electron beam 15, and a primary target 20 emitting a primary X-ray 21 by entering the electron beam 15 are arranged in a vacuum vessel 12 having an X-ray transmissive window 13 of a vacuum vessel 12.例文帳に追加

Ｘ線透過窓13を有する真空容器12内に、電子ビーム15を発生する電子銃14、電子ビーム15が入射して１次Ｘ線21を放出する１次ターゲット20を設ける。 - 特許庁

To provide an electron detector capable of detecting an electron at high sensitivity with no mixing of noise even when accelerating voltage of primary electron beam is low.例文帳に追加

一次電子ビームの加速電圧が低くても、雑音の混入なく高感度で電子の検出ができる電子検出装置を実現する。 - 特許庁

The primary electron optic system includes not less than two pairs of quadrupole electrodes 6 for adjusting the irradiation area 8 of the primary electron beams, not less than one pair of polarizers 7 for scanning the primary electron beams, and a Faraday cup for measuring the current density of the primary electron beams.例文帳に追加

一次電子光学系は、一次電子線の照射領域８を調整するための２組以上の四重極電極６、一次電子線を走査するための１組以上の偏向器７、走査信号を発生する発信器、及び一次電子線の電流密度を測定するためのファラデーカップを含む。 - 特許庁

Then, in synchronization with the scanning of the primary electron beam 102 on the silicon substrate 108 by a polarizer 105 controlled by a primary electron raster section 106, a secondary electron 112 discharged from the silicon substrate 108 by irradiating the primary electron beam 102 is received by a secondary electron detector 113 for giving to an image acquisition section 114 as secondary electron intensity.例文帳に追加

そして、一次電子走査線部１０６により制御された偏光器１０５により一次電子線１０２がシリコン基板１０８上を走査するのと同期して、一次電子線１０２の照射を受けてシリコン基板１０８から放出される二次電子１１２を二次電子検出器１１３で受け、二次電子強度として画像取得部１１４に与える。 - 特許庁

The film thickness measuring device comprises a board 11, an electron gun 12 for primary electron irradiation, a deposition device 13 for specimen deposition and a secondary electron detector 14.例文帳に追加

本構成は基板１１、１次電子照射用の電子銃１２、試料蒸着用の蒸着装置１３、２次電子検出器１４からなる。 - 特許庁