micro- fluidicsとは 意味・読み方・使い方

A mechanically stable support layer is formed over a layer of a etchable material, in a method of fabricating a microstructure for micro- fluidics applications.例文帳に追加

マイクロフルイディックス用途用のマイクロ構造体の形成方法において、機械的に安定な支持体層をエッチング可能な材料の層上に形成する。 - 特許庁

A recess, such as a hole and a microchannel, is formed on the surface of the crystal substrate 20 in the SOI substrate thus obtained, machining required as a DNA chip and a micro fluidics chip is performed, and a silicon semiconductor element for analyzing and evaluating the sample adhered to and held by the recess is formed on the SOI layer 12.例文帳に追加

このようにして得られたＳＯＩ基板の石英基板２０の表面にホールやマイクロ流路などの凹部を形成してＤＮＡチップやマイクロフルイディスクチップとして必要な加工を施し、ＳＯＩ層１２にはこの凹部に付着・保持された試料を分析・評価するためのシリコン半導体素子を形成する。 - 特許庁