micro-electro-mechanicalとは 意味・読み方・使い方

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM例文帳に追加

マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム - 特許庁

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM ACCELERATION SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRO PHOTO MECHANICAL SYSTEM ACCELERATION SENSOR例文帳に追加

微小光電気機械素子加速度センサおよび微小光電気機械素子加速度センサ製造方法 - 特許庁

To easily observe the prescribed portion of a substrate as regards a maskless exposure apparatus for use in manufacturing MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), semiconductors or the like.例文帳に追加

本発明は、ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)、半導体等の製造に用いるマスクレス露光装置に関し、基板の所定部位を容易に観察することを目的とする。 - 特許庁

A part of a conductor line forming the inductor is selected through an MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) technique to serve as an inductor.例文帳に追加

MEMS(Micro-Electro-Mechanical-Systems) 技術を使って、インダクターを構成する導体線路の一部を選択してインダクターとする。 - 特許庁

To provide a package which has improved air-tightness of an accommodation space 2 for accommodating an electronic component body 17 as an MEMS (Micro Electro Mechanical System).例文帳に追加

ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ストラクチャである電子部品本体１７を収納する収納空間２の気密性を向上したパッケージを提供する。 - 特許庁

MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM AND HEAD GIMBAL ASSEMBLY例文帳に追加

マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム及びヘッド・ジンバル・アセンブリ - 特許庁

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) BASED EFFICIENT IMAGING ARRAY JET例文帳に追加

高効率画像アレイ微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ジェット - 特許庁

To provide a Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) sensor.例文帳に追加

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）センサを提供すること。 - 特許庁