micro-piezo actuatorとは 意味・読み方・使い方

JOINTING METHOD PIEZO ELEMENT AND ELECTRODE, AND PIEZO MICRO ACTUATOR USING IT例文帳に追加

ピエゾ素子と電極との接合方法及び該接合方法を使用したピエゾマイクロアクチュエータ - 特許庁

DROPLET DISCHARGE HEAD, ENERGY CONVERSION ELEMENT, PIEZOELECTRIC DEVICE, MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE, CANTILEVER TYPE ACTUATOR, PIEZO-ELECTRIC SENSOR, AND PIEZO-ELECTRIC LINEAR MOTOR例文帳に追加

液滴吐出ヘッド、エネルギー変換素子、圧電デバイス、ＭＥＭＳ構造、カンチレバー型アクチュエータ、圧電センサー及び圧電リニアモータ - 特許庁

THIN FILM PIEZO-ELECTRIC MICRO ACTUATOR, AND HEAD GIMBAL ASSEMBLY OR DISK DRIVE UNIT例文帳に追加

薄膜圧電マイクロアクチュエータ及びヘッドジンバルアセンブリ又はディスクドライブユニット - 特許庁

To provide a two-axis micro scanner in which horizontal driving required for high frequency motion uses a vertical comb-type electrode structure and vertical driving required for low frequency motion uses a piezo-actuator.例文帳に追加

高周波運動を必要とする水平駆動は、垂直コム電極構造を利用し、低周波運動を必要とする垂直駆動は、圧電アクチュエータを利用する２軸マイクロスキャナーを提供する。 - 特許庁

The reflection type spherical aberration correction element 40 includes a buckling type micro-actuator in which vibration plates (diaphragm) having such structure that a piezo thin film 44 is held between electrode films 43 and 45 are laminated on a semiconductor substrate 41, curvature of the reflection plane by the vibration plate is changed by controlling applied voltage to each electrode film 43, 45.例文帳に追加

この反射型球面収差補正素子４０は、半導体基板４１上にピエゾ薄膜４４を電極膜４３、４５で挟んた構造の振動板（ダイアフラム）を積層した座屈型マイクロアクチュエータを含むものであり、各電極膜４３、４５間の印加電圧を制御することで振動板による反射面の曲率を変化させる。 - 特許庁