millitorrとは 意味・読み方・使い方

The substrate (35) is contained within a reactor vessel (1) at a pressure of from about 0.1 millitorr to about 100 millitorr.例文帳に追加

基板（３５）は、約０．１ミリトールから約１００ミリトールの圧力で反応容器（１）に入れられる。 - 特許庁

The second aluminum nitride layer is vapor deposited by carrying out sputtering at about 5-10 millitorr chamber pressure.例文帳に追加

第２の窒化アルミニウム層は、約５〜１０ミリトールのチャンバ圧力でスパッタリングすることにより蒸着される。 - 特許庁

The first aluminum nitride layer is vapor deposited by sputtering an aluminum target at about 1.5-3 millitorr chamber pressure in a nitrogen and inert gas plasma in the treatment chamber.例文帳に追加

第１の窒化アルミニウム層は、処理チャンバ内の窒素及び不活性ガスプラズマ中で、アルミニウムターゲットを約１．５〜３ミリトールのチャンバ圧力でスパッタリングすることにより蒸着される。 - 特許庁

The process contains the process controlling the temperature of a pedestal 44 at a temperature from approximately 400°C to 650°C during an initial period and the process maintaining a pressure within a range between approximately 1 to 10 millitorr in the process chamber 10 during the initial period.例文帳に追加

プロセスは、また、初期期間中、約４００から６５０℃の間にペデスタル４４の温度を制御する工程、上記初期期間中、プロセスチャンバ１０内で、約１から１０ミリトールの間の範囲で圧力を維持する工程を含む。 - 特許庁