multi-source depositionとは 意味・読み方・使い方

MULTI-SOURCE MECHANISM FOR FILM DEPOSITION APPARATUS例文帳に追加

成膜装置用マルチソース機構 - 特許庁

VAPOR DEPOSITION APPARATUS, AND VAPOR DEPOSITION METHOD OF MULTI-COMPONENT EVAPORATION SOURCE例文帳に追加

蒸着装置及び多元系蒸発源の蒸着方法 - 特許庁

METHOD AND SYSTEM FOR FILM DEPOSITION BY NEGATIVE ION IRRADIATION AND MULTI-SOURCE EVAPORATION例文帳に追加

負イオン照射・同時蒸着による膜形成方法とその装置 - 特許庁

The multi-layered film can be readily deposited by rotating the rotary drum equipped with a film deposition source in the deposition treatment drum.例文帳に追加

そして、処理ドラムに成膜源が設けられた回転ドラムを回転させることにより、多層の成膜を容易に形成できるようにした。 - 特許庁

To provide a multi-source mechanism for a film deposition apparatus which is easily miniaturized by a simple configuration.例文帳に追加

簡単な構成により、容易に小型化に対応することが出来るようにした、成膜装置用マルチソース機構を提供する。 - 特許庁

To suppress solidification of a raw material near a nozzle of a vapor-deposition source and to control a composition of a multi-element film to be constant when the multi-element film such as a CIGS film is vacuum-deposited.例文帳に追加

ＣＩＧＳ膜などの多元素膜を真空蒸着する際に、蒸着源のノズル近傍での原料の固化を抑制し、多元素膜の組成を一定に制御する。 - 特許庁