neutral particle beamとは 意味・読み方・使い方

This neutral particle beam processing apparatus has neutral particle beam sources which comprise a structure 42 having a plurality of holes 40 and a plurality of neutral particle beam generating mechanisms 50.例文帳に追加

中性粒子ビーム処理装置は、複数の孔４０が形成された構造体４２と複数の中性粒子ビーム生成機構５０とを有する中性粒子ビーム源を備えている。 - 特許庁

To provide a neutral particle beam processing apparatus capable of avoiding charge-up of a work to be processed due to residual ions in a neutral particle beam during processing the work with the neutral particle beam.例文帳に追加

中性粒子ビームによる被処理物の加工中に中性粒子ビーム中の残留イオンによる被処理物のチャージアップを避けることができる中性粒子ビーム処理装置を提供する。 - 特許庁

ION SOURCE, NEUTRAL PARTICLE BEAM INJECTION DEVICE FOR NUCLEAR FUSION, AND ION BEAM PROCESS DEVICE例文帳に追加

イオン源，核融合用中性粒子ビーム入射装置，及びイオンビームプロセス装置 - 特許庁

NEUTRAL PARTICLE BEAM PROCESSING APPARATUS AND METHOD OF NEUTRALIZING CHARGE例文帳に追加

中性粒子ビーム処理装置および帯電電荷の中和方法 - 特許庁

The neutral particle beam treatment device 10 comprises a charged particle removing means for removing charged particles remaining in the neutral particle beam, and a holding table 48 for holding the treated object 18 irradiated with the neutral particle beam.例文帳に追加

中性粒子ビーム処理装置１０は、中性粒子ビーム中に残留する荷電粒子を除去する荷電粒子除去手段と、中性粒子ビームが照射される被処理物１８を保持する保持台４８とを備えている。 - 特許庁

To provide a neutral particle beam processing apparatus which is capable of irradiating a workpiece with uniformly dense neutral particle beams.例文帳に追加

被処理物に均一な密度の中性粒子ビームを照射することができる中性粒子ビーム処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for enlarging a beam diameter of a neutral particle beam to deposit the particles on a wider area of a substrate.例文帳に追加

中性粒子ビームのビーム径を広げ、基板上のより広い面積に粒子の堆積を行う。 - 特許庁

Also, in a neutral particle beam generation chamber 8, a large amount of negative ions are generated from plasma.例文帳に追加

一方、中性粒子ビーム生成室８では、プラズマから多量の負イオンが発生する。 - 特許庁