neutral particlesとは 意味・読み方・使い方

To provide a method for enlarging a beam diameter of a neutral particle beam to deposit the particles on a wider area of a substrate.例文帳に追加

中性粒子ビームのビーム径を広げ、基板上のより広い面積に粒子の堆積を行う。 - 特許庁

The neutral phosphate and/or neutral phosphite are preferably present together with the treated silica particles treated with neutral phosphate and/or neutral phosphite between the stator body and needle body forming the sliding part.例文帳に追加

前記摺動部を形成する固定子体と可動子体との間に、前記中性リン酸エステルおよび／または中性亜リン酸エステルにより処理された処理済シリカ粒子とともに、中性リン酸エステルおよび／または中性亜リン酸エステルがさらに存在することが好ましい。 - 特許庁

Plasma of the etching gas and a dilution gas is generated between an upper electrode 21 and a lower electrode 5, an electric charge exchanging reaction between ions and neutral particles ionizes neutral particles, and the ionized particles are injected to a semiconductor wafer W to etch the wafer.例文帳に追加

エッチングガスと希釈ガスとのプラズマを上部電極２１と下部電極５との間に発生させて、このプラズマでのイオンと中性粒子との電荷交換反応により中性粒子をイオン化して半導体ウエハＷに入射させてこのウエハをエッチングする。 - 特許庁

This lipid carrier comprises lipid-based particles including a cationic lipid, cholesterol, a neutral phospholipid, and a neutral lipid, wherein the lipid-based particles comprise 100 pts.wt. of the cationic lipid, 25 to 100 pts.wt. of the cholesterol, 25 to 100 pts.wt. of the neutral phospholipid, and 25 to 100 pts.wt. of the neutral lipid.例文帳に追加

該脂質キャリアは、カチオン性脂質、コレステロール、中性リン脂質、および中性脂質からなる脂質ベース粒子を有する脂質ベース粒子を含み、このうち、前記カチオン性脂質が１００重量部、前記コレステロールが２５〜１００重量部、前記中性リン脂質が２５〜１００重量部、前記中性脂質が２５〜１５０重量部含まれる。 - 特許庁

The neutral particle beam treatment device 10 comprises a charged particle removing means for removing charged particles remaining in the neutral particle beam, and a holding table 48 for holding the treated object 18 irradiated with the neutral particle beam.例文帳に追加

中性粒子ビーム処理装置１０は、中性粒子ビーム中に残留する荷電粒子を除去する荷電粒子除去手段と、中性粒子ビームが照射される被処理物１８を保持する保持台４８とを備えている。 - 特許庁

To surely remove light and neutral particles by deflecting ions with high transport efficiency even in a low-vacuum atmosphere.例文帳に追加

低真空雰囲気中においても高い輸送効率で以てイオンを偏向させ、光や中性粒子を確実に除去する。 - 特許庁

To effectively capture and remove uncharged neutral particles and charged particles, each having a diameter of 5 μm or smaller in a plasma treatment apparatus utilizing a low pressure arc discharge.例文帳に追加

低圧アーク放電を利用したプラズマ処理装置において、粒径５μｍ以下の荷電性粒子と電荷を持たない中性粒子に対する効果的な捕獲・除去を図る。 - 特許庁

When neutral film-material particles EP are evaporated from an evaporation crucible 11 and made incident upon the reflecting electrode 12 in this state, the neutral film-material particles EP are ionized nearly 100 percent by the electrons accelerated by the sheath electric field.例文帳に追加

この状態で、蒸発ルツボ１１から中性の膜材料粒子ＥＰを蒸発させ、反射電極１２に入射させると、中性の膜材料粒子ＥＰがシース電界で加速された電子によってほぼ１００％イオン化される。 - 特許庁