neutron beam diffractionとは 意味・読み方・使い方

X-RAY DIFFRACTION METHOD AND NEUTRON BEAM DIFFRACTION METHOD例文帳に追加

Ｘ線回折方法および中性子線回折方法 - 特許庁

In the case of applying doping to a semiconductor substrate by emitting a neutron beam to the semiconductor substrate including at least one stable isotope as a constituent element to cause nuclear reaction of the stable isotope, employing a diffraction pattern obtained by emitting the neutron beam 15 to a diffraction grating 12 provides spatial contrast to the emission dose of the neutron so as to carry out spatially selectable doping.例文帳に追加

少なくとも一つの安定同位体を構成元素として含む半導体基体に中性子線を照射して安定同位体の核反応を起こすことにより半導体基体にドーピングを行う場合に、中性子線１５を回折格子１２に照射することにより得られる回折パターンを用いて半導体基体１１に対する中性子の照射量に空間的な濃淡を持たせ、空間的に選択的なドーピングを行う。 - 特許庁