non-repetitive defectとは 意味・読み方・使い方

To achieve a defect inspection apparatus capable of accurately inspecting micro foreign matter or defect at a high speed for an inspection target substrate in which a repetitive pattern and a non-repetitive pattern are mixed.例文帳に追加

繰り返しパターンと非繰り返しパターンとが混在する被検査対象基板に対して、微小な異物または欠陥を高速で、しかも高精度に検査できる欠陥検査装置を実現する。 - 特許庁

To provide an inspection method wherein a non-inspection domain does not exist, capable of performing accurately defect inspection of an inspection object on which a repetitive pattern is formed, such as a liquid crystal panel, a plasma display or a semiconductor wafer.例文帳に追加

液晶パネル、プラズマディスプレイ、半導体ウェハ等などの繰返しパターンが形成されている検査対象物の欠陥検査を精度良く、しかも、非検査領域が存在しない検査方法を提供すること。 - 特許庁