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optimum oxygen rangeとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 最適酸素域
「optimum oxygen range」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
The metallic hard polymer produced while the upper electrode is formed within an optimum temperature range of the mixed gas containing the oxygen and fluorocarbon gas is removed while characteristics of respective thin films constituting the MIM capacitor are taken into consideration to prevent the lifting phenomenon of the thin films constituting the MIM capacitor, thereby improving the yield of an MIM capacitor manufacturing process.例文帳に追加
ＭＩＭキャパシターを構成する各薄膜の特性を考慮して酸素及びフッ化炭素系ガスを含む混合ガスで最適の温度範囲で上部電極を形成する間に発生された金属性ハードポリマーを除去してＭＩＭキャパシターを構成する薄膜のリフティング現象を防止し、ＭＩＭキャパシター製造工程の収率を向上させることができる。 - 特許庁
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最適酸素域
JST科学技術用語日英対訳辞書
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