per fluoro polyetherとは 意味・読み方・使い方

USE OF (PER)FLUORO POLYETHER DERIVATIVE FOR TREATMENT OF SUBSTRATE HAVING LOW SURFACE ENERGY例文帳に追加

低表面エネルギーを有する支持体の処理への（ペル）フルオロポリエーテル誘導体の使用 - 特許庁

This coating agent comprises, as a principal component, a fluorine-based resin obtained by copolymerizing 50-95 mass% monomer (A) having a 1-12C (per)fluoroalkyl group and/or (per)fluoro polyether group and a carbon-carbon double bond, with 5-50 mass% monomer (B) having a carbon-carbon double bond but not containing fluorine.例文帳に追加

（Ａ）炭素数１〜１２の（パー）フルオロアルキル基及び／又は（パー）フルオロポリエーテル基を有し、かつ炭素−炭素二重結合を有するモノマー５０〜９５質量％と（Ｂ）フッ素を含有しない、炭素−炭素二重結合を有するモノマー５〜５０質量％を共重合してなるフッ素系樹脂を主成分とするコーティング剤である。 - 特許庁

After forming a resist film 101 comprising a chemical amplifying type resist material, a pattern exposure is conducted by selectively irradiating an exposing light 104 to a resist film 102 with a solution 103 supplied on the resist film 102 with its per fluoro polyether added by water and temporarily retained in a solution retaining part as circulating.例文帳に追加

化学増幅型レジスト材料よりなるレジスト膜１０１を形成した後、パーフルオロポリエーテルに水が添加されており且つ循環しながら溶液貯留部に一時的に貯留されている溶液１０３をレジスト膜１０２の上に供給した状態で、露光光１０４をレジスト膜１０２に選択的に照射してパターン露光を行なう。 - 特許庁