perfluorocompoundsとは 意味・読み方・使い方

To efficiently decompose PFC by efficiently enriching an attenuated PFC (perfluorocompounds) without switching a gas flow path.例文帳に追加

希薄なＰＦＣを効率良く、ガス流路の切り替えなしに濃縮し、効率よくＰＦＣを分解する。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for inexpensively and efficiently removing, from a gas containing PFC (perfluorocompounds), a (gas) component which reacts with water and produces a solid substance and maintaining a high PFC decomposition rate.例文帳に追加

本発明によれば、水と反応して固形物を生成する成分をＰＦＣ含有ガス中から低コストにかつ効率良く除去し、高いＰＦＣ分解率を維持することができる。 - 特許庁

Hazardous gases such as perfluorocompounds in the process gas effluent are lowered by reacting the process gas effluent with a hydroxy radical generating additive and/or oxygen radical generating additive.例文帳に追加

処理排気中のペルフルオロ化合物等の有害ガスは、処理排気ガスとヒドロキシル基生成添加物質および／または酸素基生成添加物質との反応により除去される。 - 特許庁