piezoactuatorsとは 意味・読み方・使い方

At the time when the transfer die is transferred to the base material, as pressurization is performed, the inclination between the holding tools is detected by the pressure detection elements, the inclination is corrected by the piezoactuators, and parallelism regulation is performed.例文帳に追加

基材に転写型を転写するとき、加圧しながら両保持ツール間の傾きを圧力検出素子で検出し、ピエゾアクチュエータで傾きを補正し、平行調整する。 - 特許庁

In the vibration control devices 2 and 3, vibration control rubbers 13 and 33 are situated in series between piezoactuators 12a, 12b; 32a, 32b, 32c and drive plates 17 and 37.例文帳に追加

振動制御装置２、３には、ピエゾアクチュエータ１２ａ、１２ｂ；３２ａ、３２ｂ、３２ｃと駆動板１７、３７との間にそれぞれ防振ゴム１３、３３が直列に配置されている。 - 特許庁

A driving roller 54 and pressing rollers 55a and 55b which are brought into contact with the slide bar 52 are provided to the transport table 53 in a manner that displacement in a direction perpendicular to the moving direction of the table is allowed by piezoactuators 57, 58 and 59.例文帳に追加

搬送テーブル５３に、上記スライドバー５２に接触させる駆動ローラ５４と押付ローラ５５ａ，５５ｂを、ピエゾアクチュエータ５７，５８，５９によりテーブル移動方向と直角の方向に変位可能に設ける。 - 特許庁