reaction substrateとは 意味・読み方・使い方

PLASMA REACTION CHAMBER AND SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM例文帳に追加

プラズマ反応チャンバーおよび基板処理システム - 特許庁

METHOD FOR MANUFACTURING INORGANIC-COATED SUBSTRATE USING HETEROGENEOUS REACTION例文帳に追加

不均一反応を用いた無機被覆基材の製造方法 - 特許庁

MICRO-CHEMICAL REACTION APPARATUS AND CHANNEL SUBSTRATE例文帳に追加

マイクロ化学反応装置およびチャンネル基板 - 特許庁

SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS AND METHOD OF ATTACHING AND DETACHING REACTION CONTAINER例文帳に追加

基板処理装置および反応容器の着脱方法 - 特許庁

The reaction chamber 1 is capable of holding therein the substrate 11.例文帳に追加

反応室１は、内部に基板１１を保持可能である。 - 特許庁

This substrate processing device is provided with a reaction vessel for processing a substrate and a heating device for heating the substrate in the reaction vessel.例文帳に追加

基板を処理する反応容器と、この反応容器内の基板を加熱する加熱装置とを備えた基板処理装置に関する。 - 特許庁

A substrate 10 is disposed in a reaction vessel 2, and a grounding electrode 14 is disposed in the reaction vessel 2 separate from the substrate 10 so as to surround the substrate.例文帳に追加

反応槽２内に基板１０を配置し、反応槽１０内に基板１０と離れて、これを包囲するようにアース電極１４が配置されている。 - 特許庁

The heat treatment equipment 10 comprises a reaction furnace 40 for treating a substrate 54, and a substrate support 30 for supporting the substrate 54 in the reaction furnace 40.例文帳に追加

熱処理装置１０は、基板５４を処理する反応炉４０と、反応炉４０内で基板５４を支持する基板支持具３０とを有している。 - 特許庁