reactive etchingとは 意味・読み方・使い方

PARALLEL PLATE REACTIVE ION ETCHING SYSTEM例文帳に追加

平行平板式反応性イオンエッチング装置 - 特許庁

METHOD FOR FORMING THROUGH HOLE BY REACTIVE ION ETCHING AND SUBSTRATE HAVING THROUGH HOLE FORMED BY REACTIVE ION ETCHING例文帳に追加

反応性イオンエッチングによる貫通孔の形成方法及び反応性イオンエッチングにより形成された貫通孔を有する基板 - 特許庁

In some implementations, the etching may be performed by means of a reactive ion etching process.例文帳に追加

ある実施態様においては、エッチングは反応性イオンエッチングプロセスにより行うことができる。 - 特許庁

MASKING MATERIAL FOR REACTIVE ION ETCHING, MASK AND DRY ETCHING METHOD例文帳に追加

反応性イオンエッチング用のマスク材料、マスク及びドライエッチング方法 - 特許庁

At this time, the intermediate layer 33 is used as an etching stop material for the reactive ion etching.例文帳に追加

この際、中間層３３を反応性イオンエッチングのエッチストップ材として使用する。 - 特許庁

Gas pressure in an etching chamber in the case of the reactive ion etching is set to be 9.3-10.7 Pa.例文帳に追加

反応性イオンエッチングの際のエッチング室内のガス圧を９．３〜１０．７Ｐａとする。 - 特許庁

METHOD OF REDUCING REACTIVE ION ETCHING LAG IN DEEP- TRENCH SILICON ETCHING例文帳に追加

ディープ・トレンチ・シリコン・エッチングの反応性イオン・エッチング・ラグを低減する方法 - 特許庁

Further, a gate trench 21 is formed by reactive ion etching (c).例文帳に追加

さらに，反応性イオンエッチングにより，ゲートトレンチ２１を形成する（ｃ）。 - 特許庁