reactive etchingとは 意味・読み方・使い方

MASKING MATERIAL FOR REACTIVE ION ETCHING, MASK AND DRY ETCHING METHOD例文帳に追加

反応性イオンエッチング用のマスク材料、マスク及びドライエッチング方法 - 特許庁

METHOD OF REDUCING REACTIVE ION ETCHING LAG IN DEEP- TRENCH SILICON ETCHING例文帳に追加

ディープ・トレンチ・シリコン・エッチングの反応性イオン・エッチング・ラグを低減する方法 - 特許庁

REACTIVE ION BEAM ETCHING SYSTEM AND PROCESSING METHOD THEREFOR例文帳に追加

反応性イオンビームエッチング装置とその加工方法 - 特許庁

METHOD FOR REDUCING NOTCHING GENERATED AT REACTIVE ION ETCHING例文帳に追加

反応性イオンエッチング時に生じるノッチング低減方法 - 特許庁

REACTIVE ION ETCHING METHOD AND APPARATUS THEREOF例文帳に追加

反応性イオンエッチング方法および反応性イオンエッチング装置 - 特許庁

In some implementations, the etching may be performed by means of a reactive ion etching process.例文帳に追加

ある実施態様においては、エッチングは反応性イオンエッチングプロセスにより行うことができる。 - 特許庁

At this time, the intermediate layer 33 is used as an etching stop material for the reactive ion etching.例文帳に追加

この際、中間層３３を反応性イオンエッチングのエッチストップ材として使用する。 - 特許庁

Gas pressure in an etching chamber in the case of the reactive ion etching is set to be 9.3-10.7 Pa.例文帳に追加

反応性イオンエッチングの際のエッチング室内のガス圧を９．３〜１０．７Ｐａとする。 - 特許庁