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shaking table controlとは 意味・読み方・使い方
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Though centroid correction is performed during scanning motions by feeding back the target moving distance, etc., of the stage 1 to the control systems of the air springs 12a and 12b of the table 10, the shaking of the stage 1 is prevented by enlarging the position control gain of the table 10 by means of a gain setter 31 during the stepping motions.例文帳に追加
ステージ１の目標移動距離等を、除振台１０の空気ばね１２ａ、１２ｂの制御系にフィードフォワードすることで、スキャン動作中の重心補正を行なうが、ステップ動作中は、ゲイン設定器３１によって除振台１０の位置制御のゲインを大きくして、ステージ１の揺れを防ぐ。 - 特許庁
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