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shaking-table controlとは 意味・読み方・使い方
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「shaking-table control」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 2件
SHAKING TABLE AND ITS CONTROL DEVICE AND CONTROL METHOD例文帳に追加
振動台及びその制御装置、並びに制御方法 - 特許庁
Though centroid correction is performed during scanning motions by feeding back the target moving distance, etc., of the stage 1 to the control systems of the air springs 12a and 12b of the table 10, the shaking of the stage 1 is prevented by enlarging the position control gain of the table 10 by means of a gain setter 31 during the stepping motions.例文帳に追加
ステージ1の目標移動距離等を、除振台10の空気ばね12a、12bの制御系にフィードフォワードすることで、スキャン動作中の重心補正を行なうが、ステップ動作中は、ゲイン設定器31によって除振台10の位置制御のゲインを大きくして、ステージ1の揺れを防ぐ。 - 特許庁
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