single-turnoverとは 意味・読み方・使い方

The single wafer substrate cleaning facility is provided with a substrate turnover device for cleaning the backside of the substrate in a process chamber.例文帳に追加

本発明による枚葉式基板洗浄設備は、工程チャンバ内に基板の裏面を洗浄するための基板反転装置が設けられることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a parking supporting device which can make an effective parking support even in the case a movement to the target parking position by a single run of reversing motion is impossible and a turnover operation is required.例文帳に追加

目標駐車位置への移動が１回の後退移動では不可能で、切り返し操作が必要とされる場合でも有効な駐車支援が可能な駐車支援装置を提供する。 - 特許庁