spike type electrodeとは 意味・読み方・使い方

To prevent the occurrence of an Al spike in a second metal layer (switch TFT source drain wiring) and an ohmic contact layer (n^+ layer), and to achieve the low-resistance contact between an MIS type PD lower electrode and the drain electrode of a switch TFT.例文帳に追加

第２の金属層（スイッチＴＦＴソースドレイン配線）とオーミックコンタクト層（ｎ^+層）でのＡｌスパイクの発生を防止し、ＭＩＳ型ＰＤ下部電極とスイッチＴＦＴのドレイン電極との低抵抗のコンタクトを実現する。 - 特許庁