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staging stationとは 意味・読み方・使い方
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To provide a review station and a visual inspection device, wherein the increase in size of the entire inspection device that follows increase in diameter of a wafer is prevented, while the drop in staging accuracy is prevented.例文帳に追加
ウェハの大径化に伴う検査装置全体のサイズの巨大化を防ぐと共にステージ精度の低下を防ぐレビューステーション及び外観検査装置を提供する。 - 特許庁
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