trimethylborateとは 意味・読み方・使い方

A xerogel or an aerogel containing a rear earth element and an alkaline earth element is prepared by using an organic substance precursor such as a trimethylborate according to a sol-gel method.例文帳に追加

ゾルゲル法によって、トリメチルホウ酸塩のような有機物前駆体を用いて、希土類元素及びアルカリ土類元素を含むキセロゲル又はエアロゲルを作製する。 - 特許庁

To provide a method of forming a boron-doped silica film, which can obtain a highly reliable insulating film and the like by feeding a trimethylborate(TMB) which has a high purity and has little impurities, and the manufacturing method of an electronic component, which uses the above method.例文帳に追加

本発明の目的は、高純度で不純物の少ないトリメチルボレート（ＴＭＢ）を供給することにより信頼性の高い絶縁膜等を得ることのできるホウ素がドープされたシリカ膜の形成方法及びこれを用いた電子部品の製造方法を提供することにある。 - 特許庁