unevensとは 意味・読み方・使い方

To provide a polishing pad capable of sustaining excellent flattening performance and polishing speed for a long period of time and reduced in the supplying amount of slurry, in the polishing pad employed in a polishing process for flattening minute unevens of a fine pattern formed on a semiconductor wafer.例文帳に追加

半導体ウエハ上に微細なパターンが形成されており、該パターンの微小な凹凸を平坦化する研磨工程に使われる研磨パッドにおいて、良好な平坦化性能および研磨速度を長時間に亘って持続させ、かつ、スラリーの供給量が少なくて済む研磨パッドを提供すること。 - 特許庁