verneuilとは 意味・読み方・使い方

In the restricting part 27, the flow velocity of the gaseous refrigerant running through the refrigerant lead-out pipe 23 increases and the pressure thereof is lowered by the Verneuil effect.例文帳に追加

絞り部２７において、冷媒導出管２３内を流れるガス状冷媒の流速が速くなり、ベルヌーイ効果によりガス状冷媒の圧力が低下する。 - 特許庁

The wafer processing apparatus includes three or more non-contact suction heads each for floating and chucking the wafer by utilizing the reduced pressure of a Verneuil effect caused by an air jet, and a controller for controlling to rotate the wafer by selectively sequentially turning the air of at least one of the heads in an off state in a clockwise or counterclockwise direction or selectively sequentially increasing or decreasing a flow rate of the air.例文帳に追加

この発明は、エアー噴流によるベルヌーイ効果の減圧を利用してウエハを浮上させてチャックする３個以上の非接触吸引ヘッドと、これら非接触吸引ヘッドの少なくとも１つのエアーを時計方向あるいは反時計方向に選択的に順次ＯＦＦ状態にしてあるいは選択的に順次そのエアーの流量を増加または減少させてウエハを回転させる制御を行う制御装置とを備えるものである。 - 特許庁