vitreous carbon electrodeとは 意味・読み方・使い方

To provide a method of manufacturing a porous vitreous carbon sheet suitable as an electric double layer capacitor and a polarizing electrode material for the electric double layer capacitor using the porous vitreous carbon sheet.例文帳に追加

電気二重層キャパシタ用として好適な多孔質ガラス状カーボンシートの製造方法、および、この多孔質ガラス状カーボンシートを用いた電気二重層キャパシタ用分極性電極材料を提供すること。 - 特許庁

To provide a vitreous carbon-made electrode for plasma etching which can significantly reduce the contamination of a silicon wafer with metal impurities.例文帳に追加

金属不純物でシリコンウエハの汚染を大幅に少なくすることが可能なガラス状炭素製プラズマエッチング用電極を提供する。 - 特許庁

METHOD OF MANUFACTURING POROUS VITREOUS CARBON SHEET AND POLARIZING ELECTRODE MATERIAL FOR ELECTRIC DOUBLE LAYER CAPACITOR COMPRISING THE SHEET例文帳に追加

多孔質ガラス状カーボンシートの製造方法及び該シートからなる電気二重層キャパシタ用分極性電極材料。 - 特許庁

The polarizing electrode material for the electric double layer capacitor uses the porous vitreous carbon sheet manufactured in this way and having the specified porous characteristics.例文帳に追加

およびこのようにして製造された多孔質ガラス状カーボンシートの多孔質性状を特定した電気二重層キャパシタ用分極性電極材料。 - 特許庁

This heater has a combination structure wherein an electrode 13 in order to supply the current to a heat generation part 11 of the resistance heating heater 10 is joined to plural rod-type members 13A, 13B by means of a bolt 14 made of vitreous carbon, for example.例文帳に追加

抵抗加熱ヒータ１０の発熱部１１に給電するための電極１３が、複数の棒状部材１３Ａ、１３Ｂを例えばガラス状カーボン製のボルト１４で結合した組み合わせ構造となっている。 - 特許庁

The vitreous carbon-made electrode for plasma etching is one in which the iron adhering amount adhered on the whole surface, including through-hole inner walls, is 2 μg/cm^2 or smaller, with respect to the entire surface area.例文帳に追加

貫通孔内壁を含む全表面に付着した鉄付着量が、全表面積に対し、２μｇ／ｃｍ^２以下であるガラス状炭素製プラズマエッチング用電極。 - 特許庁