wedge markとは 意味・読み方・使い方

When the color slippage is corrected, a wedge mark 39 (39f and 39r) formed on the belt 21 is detected by a sensor 38 (38f and 38r) and correction amount based on the detected result is set.例文帳に追加

色ズレを補正する場合、ベルト２１上に形成した楔マーク３９をセンサ３８で検出し、検出結果に基づく補正量を設定する。 - 特許庁

An image of a wedge mark group for measuring the best focusing position and images of box and in-box marks for measuring a coma aberration of the projection optical system are exposed at a plurality of focusing positions Z1 to Z5 at positions near a wafer by a micro-step system, and a resist pattern is formed by the following development.例文帳に追加

ベストフォーカス位置計測用の楔型マーク群の像、及び投影光学系のコマ収差計測用のボックス・インボックスマークの像を、複数のフォーカス位置Ｚ１〜Ｚ５でウエハ上の近接した位置にマイクロ・ステップ方式で露光し、その後の現像によってレジストパターンを形成する。 - 特許庁