「"dmd-5"」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

The apparatus includes a computer 7 which detects the position of an underlay wiring pattern by monitoring the underlay wiring pattern formed on the substrate 11 by irradiation with light, and corrects pattern data to be inputted to the mirror elements of the DMD 5 based on the detection result so as to correct an exposure position for forming an overlay pattern.例文帳に追加

基板１１に形成された下層配線パターンを光の照射にてモニターすることにより下層配線パターンの位置を検出し、かつ検出結果に基づいて、ＤＭＤ５の各ミラー素子に入力するパターンデータを補正することにより上層パターンを形成するための露光位置を補正するコンピュータ７を有する。 - 特許庁

The apparatus is equipped with: an exposure head 1a which can expose a desired pattern at once in a predetermined region by inputting pattern data to mirror elements of a DMD 5 composed of a two-dimensionally arranged plurality of mirror elements; and a stage 12 to relatively scan a substrate 11 with respect to the exposure head 1a, and the apparatus carries out exposure while scanning.例文帳に追加

２次元的に並び配された複数のミラー素子からなるＤＭＤ５の各ミラー素子にパターンデータを入力することによって、所定領域に対する所望のパターンを一括的に露光できる露光ヘッド１ａと、露光ヘッド１ａと基板１１とを相対的に走査させるためのステージ１２とを備え、走査しながら露光を行う。 - 特許庁